IT IS MEMS TIME

版权声明：转载时请以超链接形式标明文章原始出处和作者信息及本声明
http://memstimes.blogbus.com/logs/32119570.html

东京电子（TEL）在2008年度Semicon-Japan上推出TEMEON™系列之一的晶圆级MEMS测试机台TEMEON™-C，用于电容式读出MEMS器件。

在2006年，TEL推出针对压阻式MEMS传感器晶圆级测试的TEMEON™-M ，并已进入量产。针对目前更为复杂的电容式MEMS器件，TEMEON™-C可实现在晶圆级对加速度计和陀螺仪等器件精确的电容测量。

TEMEON™-C使用TEL的专利技术去除寄生电容以实现在任何测试环境下在晶圆级精确稳定地量测fF (femto Farad) 量级的静态电容。TEMEON™-C还可以直接量测动态电容以及MEMS结构的物理位移，反馈共振频率和品质因子（Q-Value），以及通过/失效结果。