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据Digitimes网站报道，对于微机电系统(MEMS)市场，不仅台湾半导体厂商抱持高度兴趣，就连大陆晶圆代工厂同样十分关注，台系MEMS设计公司透露，继中芯国际(SMIC)日前宣布投入MEMS晶圆代工后，再度有大陆晶圆代工厂加入MEMS晶圆代工行列，近期大陆方正集团旗下方正微电子已悄悄密访多家台系MEMS设计公司，希望台厂可以前往方正微电子投片，凸显大陆晶圆代工厂抢攻MEMS市场动作愈趋积极。

尽管全球晶圆代工大厂台积电及联电均对目前晶圆代工市场仍持相对保守态度，不过，各家晶圆代工厂为振兴公司业绩，力抗金融风暴及景气衰退，近期莫不绞尽脑汁、希望开创更多营收来源，其中，MEMS市场便成为各家晶圆代工业者争相抢食的大饼，随着台系大厂台积电与联电积极买进MEMS相关机器设备，以及大陆中芯国际正式对外宣告投入MEMS市场后，近期大陆方正微电子亦已悄悄布局MEMS晶圆代工市场。

台系MEMS设计业者透露，日前方正微电子高层亲自率团，密访台湾多家MEMS设计公司，方正微电子此行最重要目的，是希望台系MEMS设计业者能够到方正微电子试投MEMS产品，且为吸引台系MEMS设计公司前往下单，方正微电子开出低于台系MEMS晶圆代工厂报价约20~30％的诱人条件，希望能争取到订单，并在未来能在MEMS晶圆代工市场分到一杯羹。

部分MEMS设计业者认为，经过与方正微电子洽谈过后，此一阶段恐怕还不太适合前往方正微电子投片，最主要因素在于MEMS晶圆代工并非像标准CMOS制程那样容易，因此，对于现阶段方正微电子是否就能够接单生产，仍保持谨慎态度，由于要制造出MEMS产品，困难度相对较高，目前台系设计业者对于MEMS合作厂商将审慎考虑。

不过，也有部分MEMS设计业者指出，方正微电子除报价颇为诱人外，另一方面，方正微电子提出完整的解决方案，针对MEMS产品提供从最先前CMOS制程，到后来MEMS制程部分，都可一手包办，若方正微电子真能做到，这相较于当前台系MEMS晶圆代工厂所提供服务，对于MEMS设计业者确实将更加方便，也颇具有吸引力。(www.semi.org.cn)